Including substrate temperature in Berg model for reactive sputtering
Documento
-
- Visão geral
-
- Pesquisas
-
- Identidade
-
- Informação adicional documento
-
- Outro
-
- Ver todos
-
Visão geral
tipo
data de publicação
publicada em
Pesquisas
áreas de investigação
palavras-chave
-
Berg's model
-
reactive magnetron sputtering
-
substrate temperature
Identidade
identificador BrCris
-
71f7690081aaa05d615d4d4138307f99
Outro