Obtenção de filmes finos de SiC, SiCN e AlN por magnetron sputtering para aplicação em microsensores
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Visão geral
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Pesquisas
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palavras-chave
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Carbeto de silício
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Dispositivo SAW
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MEMS
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Nitreto de alumínio
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Ondas Acústica de Superfície
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Plasma
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Sensor
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Tecnologia de Plasmas
Identidade
identificador BrCris
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identificador Capes
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20121033011010001P5-Publication
identificador Oasisbr
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