produzido em https://brcris.ibict.br/individual/cour_81f05e42-8b63-455f-a90a-f6e1251f610c Program in Enginnering and Materials Technology-PGETEMA Programa de Pós-Graduação
áreas de investigação Estruturas Eletrônicas e Propriedades Elétricas de Superfícies; Interf. e Partículas Materiais Dielétricos e Propriedades Dielétricas OUTROS Propriedades Físicas dos Metais e Ligas Superfícies e Interfaces; Películas e Filamentos Transformação de Fases
palavras-chave Filmes Finos High-k MOSFET Magnetron Sputtering Magnetron Sputtering Reativo Nanoestruturas caracterização de materiais caracterização de superfícies deposição de filmes finos Óxido de háfnio
