Densificação de plasmas não térmicos proporcionada pelo aumento na emissão de elétrons secundários dos eletrodos
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Bombardeamento Eletrônico e Iônico
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Deposição reativa de filmes
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Elétrons secundários
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Filmes Finos
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Fonta de potência para plasma
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Fonte bipolar assimétrica
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Ionização
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PLASMA
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Plasma
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Tratamento Superficial
Identidade
identificador BrCris
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256422a5178edc9c4ff7c6b2f220761c
identificador Capes