EFEITOS DO ÂNODO EM UMA DESCARGA MAGNETRON SPUTTERING: MUDANÇAS NAS CURVAS DE HISTERESE E NA RELAÇÃO CORRENTE-TENSÃO.
Documento
-
- Visão geral
-
- Pesquisas
-
- Identidade
-
- Ver todos
-
Visão geral
membro de
orientado por
produzido em
tipo
data de publicação
Pesquisas
áreas de investigação
palavras-chave
-
curva de histerese
-
curvas corrente-tensão
-
deposição reativa
-
grid-assisted magnetron sputtering
-
magnetron sputtering
-
modelo de Berg
-
plasma
Identidade
identificador BrCris
-
4394b789d2f5be4f6a5de77cde20e8f0
identificador Capes