A Química Iônica de TEOS, TMOS e TMB eem Fase Gasosa e sua Relevância para a MIcroeletrônica
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Visão geral
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palavras-chave
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CVD
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organo-silanos
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reação íon-molécula
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tetraetilortossilicato
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tetrametilortossilicato
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trimetilborato
Identidade
identificador BrCris
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