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Construction of a vacuum chamber for ion beam assisted depositon (IBAD
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membro de
https://brcris.ibict.br/individual/comm_ee459614-d3fc-461b-b7eb-f628e356a377
orientado por
Peter Hammer
tipo
master thesis
data de publicação
1995-01-01
Pesquisas
áreas de investigação
ENGENHARIAS
Projetos de Máquinas
palavras-chave
Ion Beam Assisted Sputtering
Identidade
identificador BrCris
55a7a4c0110d6ad265d90319ca87f42c