Investigação da Interaface entre Filmes Dielétricos Crescidos Termicamente e o Carbeto de Silício Monocristalino com Potencial Uso em Microeletrônica
Documento
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Visão geral
produzido em
- Microelectronics Programa de Pós-Graduação
tipo
- master thesis
data de publicação
- 2012-03-01
prêmio patrocinado pela
- Universidade Federal de Rio Grande Do Sul Organização