Estudo experimental de filmes ultrafinos de oxinitretos de silício por substituição isotópica e perfilometria com resolução subnanométrica
Documento
-
- Visão geral
-
- Pesquisas
-
- Identidade
-
- Ver todos
-
Visão geral
membro de
produzido em
tipo
data de publicação
Pesquisas
áreas de investigação
palavras-chave
-
análise por reação nuclear com ressonância estreit
-
filmes dielétricos ultra-finos
-
oxinitretos de silício
-
perfilometria com resolução sub-nanométrica
Identidade
identificador BrCris
-
051e70e4542c5c786aa2e5d24782b9c7
identificador Oasisbr
-
URGS_e5c42e90f21902137f0f137cd9ee3cb9