Deposição reativas por Triodo- Magnetron - Sputtering: efeitos da malha da tela no processo de envenenamento do alvo e nas propriedades de filmes de TiN.
Documento
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Visão geral
produzido em
- Science and Engineering of Materials Programa de Pós-Graduação
tipo
- master thesis
data de publicação
- 2004-04-01
prêmio patrocinado pela
- Universidade do Estado de Santa Catarina Organização