Grid-assisted magnetron sputtering deposition of nitrogen graded TiN thin films
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Visão geral
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X-ray diffraction
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alumínio
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electron microscopy
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ensaio de indentação instrumentada
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filmes finos
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fratura
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graded materials
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processamento
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residual stress
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thin solid films
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titanium nitride
Identidade
identificador BrCris
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