Formação e estabilidade térmica de nanocavidades produzidas pela implantação de He em Si
Documento
-
- Visão geral
-
- Pesquisas
-
- Identidade
-
- Ver todos
-
Visão geral
membro de
orientado por
produzido em
tipo
data de publicação
Pesquisas
áreas de investigação
palavras-chave
-
Bolhas de He
-
Defeitos Estendidos
-
Implantação de íons
-
Microelêtronica
-
Silício
Identidade
identificador BrCris
-
4093c96d468b770b305f66c2d3d98386
identificador Capes
-
200428542001013002P1-Publication
identificador Oasisbr
-
URGS_1c60fe9e18d74ec36f8a1b0e937877cf