Caracterização da implantação de Ne em Si (100) Documento

membro de

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orientado por

• Erwan Oliviero
• Livio Amaral

produzido em

• PHYSICS GRADUATE PROGRAM  Programa de Pós-Graduação

tipo

• doctoral thesis

autores

• SUZANA BOTTEGA PERIPOLLI

data de publicação

• 2007-01-01

prêmio patrocinado pela

• Universidade Federal de Rio Grande Do Sul  Organização

palavras-chave

• Bolhas de gases nobres
• Defeitos por irradiação
• Implantação em Si
• Irradiacao Com Gases Nobres
• Ne bubbles
• Sílicio
• defects
• ion implantation
• silicon

identificador BrCris

• d35610abe5be54a3237143aeda76db4f

identificador Capes

• 20071942001013002P1-Publication

identificador Oasisbr

• URGS_d0378f550d3ad6ea90bc65050d18ae1f