Investigação das correlações entre parâmetros de deposição e propriedades estruturais e mecânicas de filmes de TiN preparados por sputtering reativo Documento

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Jose Humberto Dias da Silva

produzido em

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SCIENCE AND TECHNOLOGY OF MATERIALS Programa de Pós-Graduação

tipo

master thesis

autores

Lucas Jorge Affonço

data de publicação

2018-01-01

prêmio patrocinado pela

UNIVERSIDADE ESTADUAL PAULISTA JÚLIO DE MESQUITA FILHO ( INSTITUTO DE FÍSICA TEÓRICA ) Organização
Universidade Estadual Paulista "Júlio de Mesquita Filho" - Bauru Organização