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Corrosão por plasma para tecnologias CMOS e micromáquinas
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membro de
https://brcris.ibict.br/individual/comm_ee459614-d3fc-461b-b7eb-f628e356a377
orientado por
Stanislav A. Moshkalev
tipo
doctoral thesis
data de publicação
2003-01-01
Pesquisas
áreas de investigação
ENGENHARIAS
Física
palavras-chave
MEMS
Plasma
actinometry
anisotropy
corrosão por plasma
reactive ion etching
Identidade
identificador BrCris
1e449b3cf69661903798ddf5b2529c2b