áreas de investigação Física de Plasmas e Descargas Elétricas Materiais Dielétricos, Piezoelétricos e Ferroelétricos Materiais e Processos para Engenharia Aeronáutica e Aeroespacial
palavras-chave Carbeto de silício Microsensor de pressão Microsensores Plasma etching Tecnologia de Plasmas