Estudo do processo de implantação Iônica por Imersão em Plasma com campo magnetico externo usando técnicas númericas e experimentais
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Visão geral
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Pesquisas
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palavras-chave
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3IP com campo magnético
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Implantação Iônica por Imersão em Plasma
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simulação numérica
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técnica experimental
Identidade
identificador BrCris
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50e85ee25458c784e51bf20d6dfdfe71
identificador Oasisbr
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UNSP_2d344083d2c0e853d83b07661d16f2d2