Estudo dos mecanismos de limpeza por plasma: interação pós-descarga Ar-O2 e hexatriacontano.
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Visão geral
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Pesquisas
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palavras-chave
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Plasma
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hexatriacontano
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limpeza por plasma
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mecanismos de interação
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pos-descarga Ar-O2
Identidade
identificador BrCris
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7120b99a9bff6909ac70bcdd456fa6fa
identificador Capes
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20082441001010031P2-Publication
identificador Oasisbr
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