Abordagem Inovadora com Plasma de Baixa Temperatura para a Deposição de Filmes a partir do Acetilacetonato de Alumínio
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Visão geral
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Pesquisas
palavras-chave
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Acetilacetonato de alumínio
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Aquecimento resistivo
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Bombardeamento iônico
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Ciclo de trabalho
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Sputtering reativo
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alumina
Identidade
identificador BrCris
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identificador Capes
identificador Oasisbr
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