Deposições reativas por triodo magnetron sputtering: Influênvia da malhada tela no processo de envenenamento do alvo de TiN
Documento
- Visão geral
- Pesquisas
- Identidade
- Ver todos
Visão geral
produzido em
tipo
- master thesis
autores
data de publicação
- 2004-01-01
prêmio patrocinado pela
- Universidade do Estado de Santa Catarina Organização