Construção de um Equipamento de Deposição tipo Magnetron Sputtering e sua Caracterização Através da Deposição de Filmes Finos de Metais e Compósitos
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Filmes finos
Magnetron Sputtering
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instrumentação e construção de equipamentos
magnetron sputtering
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identificador BrCris
30cae7bcef907dae5baaf04f60f0d4ef
identificador Capes
20002442005019015P1-Publication