Implantação iônica por imersão em plasma IIIP- de argônio, nitrogênio e hélio em hexametildissilazano polimerizado a plasma 2009
Documento
- Visão geral
- Identidade
- Ver todos
Visão geral
produzido em
- Mechanical Engineering Graduate Program Programa de Pós-Graduação
tipo
- doctoral thesis
data de publicação
- 2009-12-01