Estudo das propriedades de filmes finos de nitreto de alumínio produzidos por processo de "magnetron sputtering" em regimes contínuo (DC) e alternado (RF). Documento

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Homero Santiago Maciel

produzido em

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AERONAUTICAL AND MECHANICAL ENGINEERING Programa de Pós-Graduação

tipo

doctoral thesis

autores

IVO DE CASTRO OLIVEIRA

data de publicação

2004-01-01

prêmio patrocinado pela

INSTITUTO TECNOLÓGICO DE AERONÁUTICA Organização