Growth and properties of sputtered highly (100)-oriented oxygenated AlN thin films for SAW sensing applications
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AlN (100)
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AlN Film
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Aluminium Nitride
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Aluminum Nitride
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Crystalline Orientation
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Oxygenated AlN
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Reactive Magnetron Sputtering (RMS)
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Thin Film
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Thin Films
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identificador BrCris
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