Fabricação de novas heteroestruturas a partir de estruturas SOI obtidas pela técnica \'smart-cut\'.
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Visão geral
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Pesquisas
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palavras-chave
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Filmes finos
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PECVD
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Silicon carbide
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Silicon carbide on Insolator (SiCOI)
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Silicon on Insulator (SOI)
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Solda direta, Smart Cut, Implantação iônica
Identidade
identificador BrCris
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dd1e16493c515f9056d8dd0d8aba1be6
identificador Capes
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200610333002010045P3-Publication
identificador Oasisbr
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USP_b41f7316d9b4412a33c9947753a63d45