Structural investigation of ZrN+Si 3 N 4 thin films co-deposited by magnetron sputtering Documento uri icon

  •  
  • Visão geral
  •  
  • Identidade
  •  
  • Informação adicional documento
  •  
  • Outro
  •  
  • Ver todos
  •  

tipo

  • journal article

data de publicação

  • 2022-01-01