"Estudo de materiais piezoelétricos da família III-V obtidos por sputtering reativo visando sua aplicação em sensores e MEMS"
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Visão geral
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Pesquisas
áreas de investigação
palavras-chave
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MEMS
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Nitreto de Alumínio
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piezoelétricos
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sensores
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sputtering reativo
Identidade
identificador BrCris
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996fb831723073065525752a6386589b
identificador Capes
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20108633002010045P3-Publication
identificador Oasisbr
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USP_c55e668d51cbe13acedf6366da19e7c9