Filmes de Alumina Depositados a Plasma Documento

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Visão geral

membro de

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orientado por

• ELIDIANE CIPRIANO RANGEL

tipo

• master thesis

autores

• Adriano Luiz da Silva Souza

data de publicação

• 2022-01-01

Pesquisas

áreas de investigação

• Física de Plasmas e Descargas Elétricas
• Superfícies e Interfaces; Películas e Filamentos

palavras-chave

• Acetilacetonato de Alumínio
• Al2O3
• sputtering reativo

Identidade

identificador BrCris

• ceaf3fea1eb79df562d92deb574a3772