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Litografia por elétrons de baixa energia com resiste de amplificação química
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membro de
https://brcris.ibict.br/individual/comm_ee459614-d3fc-461b-b7eb-f628e356a377
orientado por
Antonio Carlos Seabra
tipo
doctoral thesis
autores
Carlos Kazuo Inoki
data de publicação
1999-01-01
Pesquisas
áreas de investigação
Materiais e Componentes Semicondutores
palavras-chave
Feixe de elétrons
Microleletrônica
Microlitografia
Identidade
identificador BrCris
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