Caracterização e Otimização dos Processos de Fotolitografia Aplicados na Fabricação de Dispositivos Micrométricos MOS e Microssistemas
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Fotolitografia
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Litografia óptica
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MEMS
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Microeletrônica
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Microssistemas Eletromecânicos
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microfabricação
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Óptica
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identificador BrCris
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identificador Oasisbr
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