"Caracterização de Propriedades Mecânicas de Materiais Utilizados em Microssistemas Eletromecânicos"
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Visão geral
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palavras-chave
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CARACTERIZAÇÃO DE MATERIAIS
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Microelectromechanical Systems (MEMS)
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PROPRIEDADES MECÂNICAS
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nitreto de silício
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perfilômetro
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óxido de silício
Identidade
identificador BrCris
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8cf3c29d3a7d9ff34a3d4bb20b813158
identificador Capes
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20124006433003017022P0-Publication
identificador Oasisbr
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UNICAMP-30_f83a0f4f37e6c4b6a98c5b090c3a5782