Propriedades Estruturais e Ópticas de Filmes Finos a-C:H:Cl Obtidos por Deposição a Vapor Químico Assistido por Plasma e Deposição e Implantação Iônica por Imersão em Plasma
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orientado por
produzido em
- SCIENCE AND TECHNOLOGY OF MATERIALS Programa de Pós-Graduação
tipo
- master thesis
autores
data de publicação
- 2011-01-01