Propriedades Estruturais, Densidade de Deslocacoes e Analise de Defeitos Superficiais Em Heteroestruturas Semicondutoras Por Difracao Multipla de Raios-X
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Defeitos Estruturais
Defeitos em cristais e superfícies
Difracao Multipla de Raios-X
Difração Bragg - superfície (BSD)
Dispositivos Semicondutores
Heteroestruturas epitaxiais
Implantação Iônica
Semicondutores
Superficie
Varredura Renninger
Identidade
identificador BrCris
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identificador Oasisbr
UNICAMP-30_f3335df8175f121bbdc47e02d8b1d3e2
