Eletrodos de porta MOS planar e 3D baseados em TiN obtido por evaporação de Ti e nitretação por plasma ECR
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Visão geral
orientado por
tipo
- master thesis
data de publicação
- 2018-01-01
prêmio patrocinado pela
- UNIVERSIDADE ESTADUAL DE CAMPINAS ( PIRACICABA ) Organização