Corrosão por plasma de filmes de silicio policristalino e nitreto de silicio para tecnologia MEMS e CMOS
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Visão geral
produzido em
tipo
- master thesis
autores
data de publicação
- 2005-01-01
prêmio patrocinado pela
- UNIVERSIDADE ESTADUAL DE CAMPINAS ( PIRACICABA ) Organização