Desenvolvimento de micro-estruturas mecanicas sobre o silicio atraves da corrosão do substrato pela superficie
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Visão geral
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Pesquisas
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Bolometro
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Corrosão Úmida do Silício
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Infravermelho
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Membranas Suspensas
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Micro-Estruturas
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Microusinagem
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Nitreto de Silício
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Ouro poroso
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Sensor
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Silício policristalino
Identidade
identificador BrCris
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95b186e714627393b9857a7cd8c9f52d
identificador Oasisbr
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UNICAMP-30_073436fe0739d179cd9d8d58131af4ab