Propriedades Fisico-químicas e Características Elétricas de Estruturas Dielétrico/SiC
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Visão geral
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Pesquisas
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Filmes finos dielétricos
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SiC
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SiO2
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análise por feixe de íons
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carbeto de silício
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filmes finos dielétricos
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mecanismo de crescimento
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mecanismos de difusão/reação
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oxidação
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reações nucleares
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traçagem isotópica
Identidade
identificador BrCris
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cc75f7d594e3916d24969068766229af
identificador Capes
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2008742001013078P8-Publication
identificador Oasisbr
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