Tecnologias de micro e nanofabricação Grupo de Pesquisa

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Visão geral

application sectors

• Educação
• Fabricação de equipamentos de informática, produtos eletrônicos e ópticos
• Fabricação de máquinas, aparelhos e materiais elétricos

has leader

• Stanislav A. Moshkalev 
• Universidade Estadual de Campinas  Organização

has partner

• CONEXA - Microssensores e Circuitos Híbridos  Organização
• Corning Brasil Indústria e Comércio   Organização
• PST Eletrônica  Organização
• Semikron Semicondutores   Organização

tem membro

• Alfredo Rodrigues Vaz 
• Aline Maria Pascon de Marque 
• Andressa Macedo Rosa 
• Angelica Denardi de Barros 
• Arismar Cerqueira Sodré Júnior 
• Chantal Jocelyne Gunther 
• Débora Princepe 
• Edmundo da Silva Braga 
• Fabiano Fruett 
• Frederico Hummel Cioldin 
• Fábio Aparecido Cavarsan 
• Gilliard Nardel Malheiros Silveira 
• Gustavo Silva Wiederhecker 
• Hugo Enrique Hernández Figueroa 
• Hugo da Silva Alvarez 
• Ioshiaki Doi 
• Jacobus Willibrordus Swart 
• Jose Alexandre Diniz 
• José Godoy Filho 
• Juliana Miyoshi 
• Leandro Tiago Manera 
• Leonardo Breseghello Zoccal 
• Lucas Heitzmann Gabrielli 
• Luciano Prado de Oliveira 
• Luiz Carlos Kretly 
• Luiz Otavio Saraiva Ferreira 
• Marcos Vinicius Puydinger dos Santos 
• Milena de Albuquerque Moreira 
• Newton Cesário Frateschi 
• Peter Jürgen Tatsch 
• Prof Francisco das Chagas Marques 
• Prof. Dr. Lisandro Pavie Cardoso 
• ROGÉRIO VALENTIM GELAMO 
• Raulin, Jean-Pierre 
• Rodrigo Reigota César 
• Stanislav A. Moshkalev 
• Thiago Pedro Mayer Alegre 
• Vitor Garcia 
• William César Mariano 

descrição

• a) Trabalhos são publicados em revistas e congressos.b) Os artigos publicados vem sendo referendados por outrospesquisadores.c) Formamos alunos na área de tecnologias de microeletrônica, de microfabricação e de nanofabricação

Data arquivamento

• 1981

Pesquisas

research lines

• Antenas  Conceito
• Desenvolvimento de sensores  Conceito
• Ferramentas para Ensino de Microeletrônica 
• Integração de Processos de Fabricação de Circuitos Integrados 
• Integração de Processos de Fabricação de MEMS (Micro-ElectroMechanical Systems) 
• Materiais e Etapas de Processos de Microfabricação 
• Modelagem de Processos e Dispositivos 
• Nanotecnologias  Conceito
• Projeto de Circuitos Integrados 
• Tecnologia de microeletronica e fotonica.  
• biochips 

áreas de investigação

• Circuitos Eletrônicos
• Materiais e Componentes Semicondutores
• Prop. Óticas e Espectrosc. da Mat. Condens; Outras Inter. da Mat. com Rad. e Part.
• Sistemas Eletrônicos de Medida e de Controle

palavras-chave

• AMPLIFICADORES
• APS
• BALÔMETRO
• BASES DE CRESCIMENTO CELULAR
• CMOS
• CORROSÃO POR PLASMA
• CVD
• EDUCAÇÃO A DISTÂNCIA
• FINFETS
• FOTÔNICA DE SILÍCIO
• FOTÔNICA, GAAS
• HBT
• IMPLANTAÇÃO DE ÍONS
• LITOGRAFIA
• MECÂNICOS
• MICROELETRONICA
• MICROONDAS
• MIXER
• MODELAGEM MICROMECÂNICA
• MODELO APS
• MODELO MOSFET
• NANOESTRUTURAS DE BASE CARBONO (GRAFENO E CNT)
• NANOTECNOLOGIA
• NANOTUBOS DE CARBONO
• PISCES
• SENSOR DE PRESSÃO
• SENSOR ÓPTICO
• SENSORES QUÍMICOS
• SENSORES ÓPTICOS
• SILÍCIO
• SUPREM
• TECIDOS ARTIFICIAIS
• TÉRMICOS
• ÓXIDOS

Serviço

equipment

• Analisador de parâmetros
• Analisador de parâmetros de rede
• CPD
• Elipsômetro
• Evaporadora Térmica
• Evaporadora por feixe de elétrons
• Forno de processamento térmico rápido
• Plasma Etcher
• Reator Epitaxial/LPCVD vertical
• Reator LPCVD
• Sistema ICP/RIE
• Sistema PECVD
• Sistema Raman/AFM
• Sistema de Sputtering
• Sistema de feixe de elétrons
• Sistema de feixe duplo SEM/FIB
• Sistema de litografia por feixe de elétrons
• fotoalinhadora
• implantador de íons

software

• Silvaco

Ligações

URL

• https://dgp.cnpq.br/dgp/espelhogrupo/9309963271623686

Identidade

DGP identifier

• 9309963271623686

identificador BrCris

• b410921b60c5b976c3c6e0e02a735e14